Park NX15原子力顯微鏡不僅非常適合共享實驗室里的研究人員處理各種樣品、進行多變量實驗，也同樣適合故障分析工程師處理晶圓的系統(tǒng)性工作。

便捷的樣品測量（包含多樣品掃描）

一次可對多個樣品自動成像

設(shè)計的多樣本卡盤，一次至多可裝載9個單獨樣品（可選）

全電動XY樣品臺行程可達 150 mm x 150 mm

通過消除掃描器串擾進行精準的XY掃描

獨立閉環(huán)XY和Z柔性掃描器

正交XY掃描

無需軟件處理即可保留真實可信的樣品表面形貌信息

真正非接觸模式實現(xiàn)探針使用壽命、成像分辨率和樣品的有效保護

快速的Z伺服速度，實現(xiàn)真正的非接觸模式

針尖磨損微小化，可實現(xiàn)長時間的高質(zhì)量和高分辨率成像

多種模式和選項

全面性的測量模式和表征方法

可實現(xiàn)可選配件和升級擴展功能

用于故障分析(FA)的精密電學測量

Park NX15原子力顯微鏡 參數(shù)

掃描器

Z掃描器

柔性引導高推動力掃描器

Z掃描范圍：15μm(30 μm可選)

XY掃描器

閉環(huán)控制式單模塊柔性XY掃描器

掃描范圍：100μmx 100μm

光學

帶視覺相機的同軸光學系統(tǒng)

物鏡：10x放大

視場：

480 μm X 360 μm(默認 120 萬像素視覺相機)

840 μm X 630 μm( 默認 500 萬像素視覺相機)

電路系統(tǒng)

信號處理

ADC: 用于 X,Y和Z 掃描器位置傳感器的 24 位 ADC

DAC: 用于 X,Y和Z 掃描器定位的 20 位 DAC

樣品臺

Z位移臺行程范圍：25.5 mm

XY位移臺行程范圍：150 mm X 150mm

樣品大小：可滿足150 mm wafer 樣品